喜開理產品介紹：CKD小型流量傳感器

喜開理產(chan) 品介紹：CKD小型流量傳(chuan) 感器

產(chan) 品型號;FSM2-PAR102-A153BT

產(chan) 品介紹：CKD小型流量感測器

產(chan) 品型號;FSM2-PAR102-A153BT

產(chan) 品資料

滿足客戶需求

充實產(chan) 品陣容

吸收FSM係列的並實現了更大的進步。

繼承了優(you) 異的應答性，量程擴大到了1000L/min。

采用雙畫麵和雙色顯示，並搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實現了雙向測量，注入了新價(jia) 值。

流量量程增大

保持大流量，結構小型化

實現雙向流體(ti) 測量

精度提高 不超過±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個(ge) 類型。

雙畫麵顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

自動參考功能

高速應答 不超過50msec

利用表示一體(ti) 型設計，通過設置主畫麵和輔助畫麵，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發生異常時一看便知。

在表示分離型中，通過流量欄表示，可以一目了然地掌握目標流

量。

通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關(guan) 輸出的設定值。

*避免了繁瑣的設定過程。

通過采用了矽微細加工技術白金感測器小片，實現了高速應答。

有助於(yu) 縮短間隔時間。

流量量程為(wei) 500、1000 L/min這兩(liang) 個(ge) 類型，是以往體(ti) 積的30%。

實現了屈一指的小型化。

有助於(yu) 設備的小型化、輕量化。

表示一體(ti) 型、雙向型可以任意設置流向進行測量。

管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時還可以用來探測逆流。

精度達到了±3%FS，實現了更為(wei) 準確的流量測量。

FSM係列

FSM2係列

是以往體(ti) 積的

30%

（1000 L/min類型）

詳情請參閱P29

正方向 雙向 反方向

詳情請參閱P25

詳情請參閱P25

詳情請參閱P28

流量欄表示

流量單位

主畫麵（顯示瞬時流量）

<雙色顯示>

輔助畫麵（流向等）

機型種類 尺寸

超小型、輕量 高速應答 開關(guan) 輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體(ti) 型

主體(ti) 材質

保持感測器，實現防範故障於(yu) 未然。

頁碼

目錄No.

頁碼

應答速度 顯示器 材質 輸出方式 流向探測 流量量程

豐(feng) 富的FSM係列

備有小型流量感測器超小型管道式過濾器

技術資料

用途示例、係列體(ti) 係見下頁

滿足客戶需求

充實產(chan) 品陣容

滿足客戶需求

充實產(chan) 品陣容

吸收FSM係列的並實現了更大的進步。

繼承了優(you) 異的應答性，量程擴大到了1000L/min。

采用雙畫麵和雙色顯示，並搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實現了雙向測量，注入了新價(jia) 值。

流量量程增大

保持大流量，結構小型化

實現雙向流體(ti) 測量

精度提高 不超過±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個(ge) 類型。

雙畫麵顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

自動參考功能

高速應答 不超過50msec

利用表示一體(ti) 型設計，通過設置主畫麵和輔助畫麵，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發生異常時一看便知。

在表示分離型中，通過流量欄表示，可以一目了然地掌握目標流

量。

通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關(guan) 輸出的設定值。

*避免了繁瑣的設定過程。

通過采用了矽微細加工技術白金感測器小片，實現了高速應答。

有助於(yu) 縮短間隔時間。

流量量程為(wei) 500、1000 L/min這兩(liang) 個(ge) 類型，是以往體(ti) 積的30%。

實現了屈一指的小型化。

有助於(yu) 設備的小型化、輕量化。

表示一體(ti) 型、雙向型可以任意設置流向進行測量。

管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時還可以用來探測逆流。

精度達到了±3%FS，實現了更為(wei) 準確的流量測量。

FSM係列

FSM2係列

是以往體(ti) 積的

30%

（1000 L/min類型）

詳情請參閱P29

正方向 雙向 反方向

流量單位

主畫麵（顯示瞬時流量）

<雙色顯示>

輔助畫麵（流向等）

機型種類 尺寸

超小型、輕量 高速應答 開關(guan) 輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體(ti) 型

主體(ti) 材質

保持感測器，實現防範故障於(yu) 未然。

頁碼

目錄No.

頁碼

應答速度 顯示器 材質 輸出方式 流向探測 流量量程

豐(feng) 富的FSM係列

備有小型流量感測器超小型管道式過濾器

技術資料

用途示例、係列體(ti) 係見下頁

開關(guan) 輸出2點 NPN/PNP

模擬輸出1點

模擬輸出1點

空氣、氮氣用 氬、碳酸氣用

主體(ti) 材質

連接口徑

實際比例流量

表示一體(ti) 型 表示分離型

流向

雙向或單向

（根據形式選擇，雙向型可以通過按鈕操作選擇流向）

雙向或單向

（根據形式選擇）

模擬輸出1點

1-5V或4-20mA（根據形式選擇）

開關(guan) 輸出2點

NPN或PNP輸出（根據形式選擇）

模擬輸出1點

1-5V或4-20mA（根據形式選擇）

輸出形式

樹脂主體(ti)

不鏽鋼主體(ti)

單向 雙向 單向 雙向

表示一體(ti) 型表示分離型

小型流量感測器用途示例 小型流量感測器係列體(ti) 係

應用於(yu) 各種域中

小型流量感測器可以用在機械、汽車、計量儀(yi) 器、精密儀(yi) 器等域和半導體(ti) 、

生物等*域以及醫療、食品域等上，用途非常廣泛多樣。

適用流體(ti)

感測器的用途

各種泄露檢查

針孔檢查

離子化器的吹掃氣體(ti) 確認

焊接氣體(ti) 的管理

吹掃氣體(ti) 的流量管理

落座確認

吸附確認

可以直接測量泄露流

量。即便是微壓，由於(yu)

輸出與(yu) 針孔成正比，

因此也可以用來判斷

有否故障、確認狀態

情況。

可處理的流量量程大。

內(nei) 嵌速控器型（特別訂購品）可

以輕鬆對流量進行控製。

可處理的流量量程大。

①與(yu) 壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內(nei) 容積、壓力等決(jue) 定）

②由於(yu) 是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調節、誤檢情形。

③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。

④通過流量探測，可以有效管理傾(qing) 斜吸附等吸附錯誤。

利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此

時根據流量可以準確地進行判別。

激光激發器、半導體(ti) 製造裝置的N2氣體(ti) 管理

處置的流量量程大。

內(nei) 嵌速控器型（特別訂購品）可以

輕鬆對流量進行控製。

危險

 請勿用於(yu) 易燃性流體(ti) 。

關(guan) 於(yu) 使用流體(ti)

注意

使用不受溫度、壓力影響的流量測定本產(chan) 品的

流量。單位為(wei) L/min。該單位為(wei) 將流量換算為(wei)

在20℃ 1氣壓(101kPa)的體(ti) 積流量時的標記單位。



警告

不能作為(wei) 商用儀(yi) 表使用。

不適用於(yu) 計量法，因此請不要用於(yu) 商業(ye) 交易。請作

為(wei) 工業(ye) 用感測器使用。

除適用流體(ti) 之外的流體(ti) 由於(yu) 不能其精度，因此

請不要使用。

壓縮機輸出的壓縮空氣內(nei) 含有汙物(水、氧化油、異

物等)，因此請在感測器的一次端(上端部)安裝過濾

器、空氣幹燥器及油霧過濾器(細油微粒過濾器)後

使用。此外，感測器內(nei) 的網眼(金屬網)用於(yu) 調整配

管中的流量，並不是用於(yu) 除去異物的過濾器，因此

請務必設置過濾器。

＜回路＞

壓力源 空氣幹燥器 過濾器 調壓閥 油霧

過濾器

(細油微粒過濾器)

流量感測器

FSM係列

感測器的一次端使用閥時，請使用禁油規格的閥。

否則，可能因潤滑油、油等飛濺造成感測器失靈或

破損。

使用碳酸氣等液化氣體(ti) 時，請務必氣化後使用。因

為(wei) 液化的氣體(ti) 進入本產(chan) 品可能導致產(chan) 品故障。

危險

關(guan) 於(yu) 使用環境

防性環境

嚴(yan) 禁在性氣體(ti) 環境中使用。由於(yu) 本產(chan) 品沒有設

置防爆結構，因此可能引起導致火災。

警告

腐蝕性環境

請不要在亞(ya) 硫酸氣體(ti) 等腐蝕性氣體(ti) 環境中使用。

周圍溫度、流體(ti) 溫度

使用本產(chan) 品的周圍溫度、流體(ti) 溫度為(wei) 0～50℃範圍

內(nei) 。

此外，在由於(yu) 周圍溫度、流體(ti) 溫度急劇變化產(chan) 生結

露的地方，即使溫度範圍屬於(yu) 規定值，也請不要使

用本產(chan) 品。

zui高使用壓力和使用流量量程

超過zui高使用壓力或非使用流量量程使用本產(chan) 品時

可能導致本產(chan) 品故障，因此請在規格範圍內(nei) 使用。

防滴漏環境

本產(chan) 品的保護結構相當於(yu) IP40。請不要設置在存

在加壓、減壓的環境或出現水分、鹽分、塵埃及屑

末的場所。在溫度變化劇烈的場所或濕度高的環境

中，本產(chan) 品可能因主體(ti) 內(nei) 部產(chan) 生結露產(chan) 生故障，因

此不能在這樣的環境中使用

喜開理產(chan) 品介紹：CKD小型流量傳(chuan) 感器